[发明专利]液体喷射装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及打印机技术，尤其涉及一种液体喷射装置及其制造方法。

背景技术

打印机的液体喷射装置利用压电元件作为致动器将墨水喷出，液体喷射装置主要有以下二种类型，一种是通过压电元件和振动板部分构成与排出墨水的喷嘴连通的压力腔室，通过压电元件和振动板的变形，使得压力腔室的体积发生变化，从而将压力腔室中的墨水从喷嘴喷出。因为需要压力腔室的体积变化，所以需要压电元件和振动板的变形很大，同时压力腔室的侧壁需要很好的强度和韧性，为了获得所需大小的喷出墨滴，压电元件应具有一定的面积才能保证所需要的变形量，压力腔室的侧壁也需要很好的强度和韧性，从而难以实现喷嘴的高密度排列。

第二种是将压电元件和振动板以桥式梁的形式设置在压力腔室内，如图1所示，图1为现有技术中的液体喷射装置的结构示意图；第二种结构优点在于桥中间部分不受衬底的制约，桥式梁的变形量远远大于四周固定的压电振动板，能更有效的驱动更多液体从喷嘴中喷出，从而提高喷头的工作效率。第二种液体喷射装置的制造方法为：先在基板101上采用蚀刻法或者激光法形成喷孔102和压力室103，接着用树脂填充压力室103，再在压力腔室103上方依次形成桥式梁104、下电极105、压电膜106和上电极107，然后去除树脂释放桥式梁结构，最后粘结边框108形成储液室109。

上述加工方法，需要填充树脂的表面极其平坦，不然在释放桥式梁结构的时候桥式梁104会产生弯曲现象，且在形成压电膜106的时候需要800℃左右的高温煅烧，树脂很难有优异的热稳定性，因此，会在还没有释放桥式梁结构的时候，树脂的热膨胀会导致桥式梁104弯曲变形，从而影响产品的质量。

发明内容

本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法，用于解决现有技术中液体喷射装置制造方法加工的桥式梁容易弯曲的技术缺陷。

本发明提供的一种液体喷射装置制造方法，包括：

基板表面形成弹性膜；

所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙；

通过所述缝隙在所述基板上刻蚀形成凹槽；其中，所述弹性膜悬设在所述凹槽上，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。

本发明还提供一种液体喷射装置，该液体喷射装置是用上述的液体喷射装置制造方法制造的。

本发明提供的液体喷射装置及其制造方法，通过在基板上的弹性膜上开设缝隙，通过缝隙将基板蚀刻出凹槽，弹性膜悬设在所述凹槽上，本发明先形成弹性膜，不需要通过树脂填充压力室，也不需要高温煅烧，因而能够保证弹性膜的加工精度，不会产生弯曲变形，能够提高产品质量。

附图说明

图1为现有技术中的液体喷射装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种液体喷射装置制造方法的流程图；

图3为本发明实施例提供的另一种液体喷射装置制造方法的流程图；

图4为图3中步骤400的一种具体实施方式的流程图；

图5A-图5F为本发明一种实施例的液体喷射装置制造方法的产品制造流程的结构主视图；

图5A’-图5F’为图5A-图5F对应的结构左视图；

图6为本发明实施例制造的液体喷射装置的结构示意图；

图7A-图7G为本发明另一种实施例的液体喷射装置制造方法的产品制造流程的结构主视图；

图7A’-图7G’为图7A-图7G为对应的结构左视图；

图8为本发明另一实施例制造的液体喷射装置的结构示意图；

图9本发明另一实施例形成凹槽后的主视图；

图10为本发明另一实施例制造的液体喷射装置的结构示意图；

图11本发明另一实施例形成凹槽后的主视图；

图12为本发明另一实施例制造的液体喷射装置的结构示意图。

具体实施方式

图2为本发明实施例提供的一种液体喷射装置制造方法的流程图，图5A-图5F为本发明一种实施例的液体喷射装置制造方法的产品制造流程的结构主视图；图5A’-图5F’为本发明另一种实施例的液体喷射装置制造方法的产品制造流程的结构左视图；图6为本发明实施例的方法制造的液体喷射装置的结构示意图。如图2所示，本实施例提供一种液体喷射装置制造方法，包括：

步骤100，基板表面形成弹性膜。