[发明专利]液体喷射装置及其制造方法

权利要求书

1.一种液体喷射装置制造方法，其特征在于，包括：

基板表面形成弹性膜；

所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙；

通过所述缝隙在所述基板上刻蚀形成凹槽；其中，所述弹性膜悬设在所述凹槽上，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。

2.根据权利要求1所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述基板表面形成弹性膜具体为，通过低压化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法形成弹性膜；所述弹性膜的材料为SiO₂或Si₃N₄。

3.根据权利要求1所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述基板表面形成弹性膜之后还包括：所述弹性膜表面上形成压电元件。

4.根据权利要求3所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述弹性膜表面上形成压电元件包括：

通过电子束蒸镀或溅射法在所述弹性膜上形成下电极层；

在所述下电极上形成压电体层；

通过电子束蒸镀法或溅射法在所述压电体层上形成上电极层。

5.根据权利要求4所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述下电极层为钛层、铂金层或多个钛层叠加层；所述压电体层为锆钛酸铅层；所述上电层为铂金层或黄金层。

6.根据权利要求1-5任一所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述弹性膜为矩形片结构，所述缝隙为沿所述压电元件左右对称且沿所述弹性膜长度方向开设的第一条形槽。

7.根据权利要求6所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述缝隙还包括沿所述弹性膜宽度方向开设的第二条形槽，该第二条形槽两端与所述左右对称的第一条形槽端部连接。

8.根据权利要求1所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述通过所述缝隙在所述基板上刻蚀形成凹槽包括：

在所述基板外部涂覆保护膜；

通过EDP或TMAH腐蚀液向所述缝隙内蚀刻所述基板，在所述弹性膜下方形成所述凹槽。

9.根据权利要求8所述的液体喷射装置的基板的制造方法，其特征在于，所述凹槽的宽度大于所述弹性膜的宽度，所述凹槽的长度小于所述弹性膜的长度，所述弹性膜相对于所述凹槽形成桥式结构。

10.根据权利要求8所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述保护膜的材料为耐酸碱的橡胶类树脂。

11.根据权利要求6所述的液体喷射装置制造方法，其特征在于，所述通过所述缝隙在所述基板上刻蚀形成凹槽之后还包括：

在所述基板上形成供墨通道、公共腔室和压力腔室，在所述压力腔室的外壁上形成喷嘴。

12.一种液体喷射装置，其特征在于，该液体喷射装置是用权利要求1至11中任一项所述的液体喷射装置制造方法制造的。