[发明专利]麦克风防水薄片的制造方法无效
申请号: | 201310256875.3 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN103391502A | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 蔡孟锦 | 申请(专利权)人: | 歌尔声学股份有限公司 |
主分类号: | H04R31/00 | 分类号: | H04R31/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 陈英俊 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供一种麦克风防水薄片的制造方法,该方法包括:a)使薄型硅片固定在蚀刻载具上;b)在所述薄型硅片上通过蚀刻形成多个水不浸通孔。由该方法制造的麦克风防水薄片结构完整性好、防水性能好、声效好、厚度薄而精确、耐高温回流且批量生产性好。 | ||
搜索关键词: | 麦克风 防水 薄片 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种麦克风防水薄片的制造方法,包括:a)使薄型硅片固定在蚀刻载具上;b)在所述薄型硅片上通过蚀刻形成多个水不浸通孔。
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