[发明专利]一种用于在衬底上沉积金属的设备

摘要

本发明的目的在于提供一种用于在衬底上电化学沉积金属的设备，所述设备具有：半导体器件衬底、衬底盒、衬底固持装置、第一机械手、第二机械手、第一装载台、第二装载台、电镀单元和电解液供给单元。本发明提供的在衬底上电化学沉积金属的设备具有多个电镀单元，每个电镀单元能同时处理多片衬底，减少了设备体积，提高了生产效率。并且在电化学沉积金属的过程中，衬底可以围绕阳极做圆周运动，提高了电镀均匀性。

主权项

一种用于在衬底上电化学沉积金属的设备，所述设备具有：半导体器件衬底，所述半导体器件衬底具有一待沉积面；衬底盒，所述衬底盒用以储存所述半导体器件衬底；衬底固持装置，所述衬底固持装置用以固持所述半导体器件衬底；第一机械手；第二机械手；第一装载台；第二装载台；电镀单元，所述电镀单元具有阳极；电解液，所述电解液具有金属离子和有机化合物；电解液供给单元，供给所述电解液至所述电镀单元；升降装置；转动装置；其特征在于：所述第一机械手在所述衬底盒与所述第一装载台间传输所述半导体器件衬底；所述第二机械手在第一装载台与所述第二装载台间传输所述衬底固持装置；所述第一装载台用于所述衬底固持装置水平装载与水平卸载所述半导体器件衬底；所述第一装载台具有翻转装置，用以在水平和竖直面间翻转所述衬底固持装置；所述第二装载台用于竖直装载与竖直卸载所述衬底固持装置；所述升降装置用以相对所述电镀单元升降所述第二装载台，通过所述第二装载台带动所述衬底固持装置浸入或离开所述电解液；所述转动装置用以相对所述电镀单元转动所述第二装载台，通过所述第二装载台带动所述衬底固持装置在所述电镀单元中绕所述阳极做圆周运动。