[发明专利]具有可调节通风开口的MEMS结构及MEMS装置有效
| 申请号： | 201310251221.1 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN103517169B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 阿尔方斯·德赫;沃尔夫冈·弗里扎;斯特凡·巴泽恩;马蒂亚斯·弗里德里克·赫尔曼;沃尔夫冈·克莱因;乌尔里希·克鲁姆贝因;马丁·乌策 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,吴孟秋 |
| 地址： | 德国瑙伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有可调节通风开口的MEMS结构，该MEMS结构包括后板、膜和可调节通风开口，该可调节通风开口被配置为减少接触膜的第一空间与接触膜的相对侧的第二空间之间的压力差。该可调节通风开口根据第一空间与第二空间之间的压力差而被被动地致动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 调节 通风 开口 mems 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构，包括：后板；与所述后板间隔间隙距离的膜；以及可调节通风开口，被配置为减少接触所述膜的第一侧的第一空间与接触所述膜的相对的第二侧的第二空间之间的压力差，其中，所述可调节通风开口根据所述第一空间与所述第二空间之间的压力差而被被动地致动，所述可调节通风开口在打开位置与关闭位置之间切换。
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