[发明专利]具有可调节通风开口的MEMS结构及MEMS装置

权利要求书

1.一种MEMS结构，包括：

后板；

与所述后板间隔间隙距离的膜；以及

可调节通风开口，被配置为减少接触所述膜的第一侧的第一空间与接触所述膜的相对的第二侧的第二空间之间的压力差，其中，所述可调节通风开口根据所述第一空间与所述第二空间之间的压力差而被被动地致动，所述可调节通风开口在打开位置与关闭位置之间切换。

2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口位于所述膜上。

3.根据权利要求2所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口位于所述膜上在边缘附近且与后板窗口相邻的区域中。

4.根据权利要求2所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口比所述膜的其他部分更薄。

5.根据权利要求1所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口位于所述后板上。

6.根据权利要求1所述的MEMS结构，其中，所述后板机械地连接到基板，并且所述可调节通风开口位于所述基板上。

7.根据权利要求1所述的MEMS结构，其中，所述后板机械地连接到基板，并且所述基板机械地连接到支撑结构，所述可调节通风开口位于所述支撑结构上。

8.根据权利要求1所述的MEMS结构，其中，所述第一空间封闭在装置外壳内，并且所述可调节通风开口位于所述装置外壳上。

9.根据权利要求1所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口包括悬臂。

10.根据权利要求1所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口为多个可调节通风开口中一个。

11.一种MEMS结构，包括：

后板；

与所述后板间隔间隙距离的膜；以及

可调节通风开口，包括在所述膜上的悬臂，所述可调节通风开口被配置为减少接触所述膜的第一空间与接触所述膜的相对侧的第二空间之间的压力差，所述可调节通风开口在打开位置与关闭位置之间切换。

12.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口根据所述第一空间与所述第二空间之间的压力差而被被动地致动。

13.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述悬臂包括末端，所述末端从所述膜的平面偏离了大于所述间隙距离的四倍的距离。

14.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述间隙距离小于3μm。

15.根据权利要求14所述的MEMS结构，其中，所述悬臂具有10μm与150μm之间的长度。

16.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述悬臂的长度与所述间隙距离之比大于3。

17.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述悬臂位于所述膜上在边缘附近且与后板窗口相邻的区域中。

18.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述悬臂比所述膜的其他部分更薄。

19.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述悬臂通过U形间隙与所述膜的剩余部分分开。

20.根据权利要求19所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口包括正方形柔性结构。

21.根据权利要求19所述的MEMS结构，其中，所述U形间隙包括延伸远离所述间隙的顶部的开口部。

22.根据权利要求21所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口包括在所述间隙的顶部上的弧形开口。

23.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口包括通过蛇形开口间隙分开的相互缠结的柔性结构。

24.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述可调节通风开口包括两个柔性结构，每个柔性结构通过U形间隙与所述膜的剩余部分分开，其中，所述两个柔性结构沿相反方向延伸。

25.根据权利要求11所述的MEMS结构，其中，所述悬臂被弹簧状间隙包围，使得所述间隙的至少两个部分与所述悬臂的区域相邻。