[发明专利]晶体硅抛光液的添加剂及其使用方法有效
| 申请号： | 201310239830.5 | 申请日： | 2013-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN103320018A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 章圆圆;陈培良;符黎明 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/00 | 分类号： | C09G1/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 | 代理人： | 陈扬 |
| 地址： | 213300 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于晶体硅抛光液的添加剂，由烷基糖苷、吡嗪、聚乙二醇和水组成。在对硅片进行表面抛光时，将本发明的添加剂加入到碱性溶液中，可达到优异的抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 抛光 添加剂 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
用于晶体硅抛光液的添加剂，其特征在于，由烷基糖苷、吡嗪、聚乙二醇和水组成。
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