[发明专利]一种高精度高频响的平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法

摘要

一种高精度高频响的平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法，涉及一种平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法。它是为了解决现有倾角测量传感器对平台倾角的测量精度低、频响低的问题。在平台运动基座边缘的一个圆周上均匀安装一定数量的线阵CCD，安装在平台上的旋转光源通过扫描线阵CCD在其屏幕上留下一系列光点，线阵CCD输出的光点高度信号输入到CPU中，将当前平台平面为相邻三个CCD上光点构成的平面，在CPU中通过空间几何关系计算获得平台在两个相互垂直方向的倾角。本发明适用于超精密仪器设备平台技术领域的应用。

主权项

一种高精度高频响的平台倾角测量装置，其特征在于：它包括电源模块(1)、基准光源(2)、旋转光源(3)、线阵CCD模块(4)、CPU(5)和待测平台(6)；电源模块(1)分别为基准光源(2)、旋转光源(3)、线阵CCD模块(4)和CPU(5)提供工作电源，旋转光源(3)的底部固定在待测平台(6)的上表面；基准光源(2)的底部固定在待测平台(6)上表面的中心位置；线阵CCD模块(4)中的N个CCD均匀分布在待测平台(6)边缘的圆周上，线阵CCD模块(4)的高度信号输出端连接CPU(5)的高度信号输入端；3≤N≤24。