[发明专利]图案化缝隙片框架组件

摘要

本发明提供了一种图案化缝隙片框架组件，所述图案化缝隙片框架组件包括图案化缝隙片，具有图案；图案化缝隙片框架，支撑图案化缝隙片；以及拉力施加单元，在图案化缝隙片设置在图案化缝隙片框架上之后向图案化缝隙片施加拉力。

主权项

一种用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，所述图案化缝隙片框架组件包括：图案化缝隙片，包括具有图案的中心部分和不包括图案的外部部分；图案化缝隙片框架，接触图案化缝隙片的外部部分以支撑并固定图案化缝隙片；以及拉力施加单元，在图案化缝隙片设置在图案化缝隙片框架上之后向图案化缝隙片施加拉力，其中，拉力施加单元位于图案化缝隙片和图案化缝隙片框架彼此连接的位置与图案化缝隙片的中心部分之间，使得拉力施加单元在图案化缝隙片框架的内表面上并且拉力施加单元的顶表面接触外部部分，其中，拉力施加单元能够沿着图案化缝隙片框架的内表面在上升方向和下降方向上移动，使得在图案化缝隙片与图案化缝隙片框架连接到彼此时，拉力施加单元沿着朝着图案化缝隙片的顶部的方向移动以在与所述方向垂直的方向上向图案化缝隙片施加拉力。