[发明专利]图案化缝隙片框架组件

权利要求书

1.一种用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，所述图案化缝隙片框架组件包括：

图案化缝隙片，包括具有图案的中心部分和不包括图案的外部部分；

图案化缝隙片框架，接触图案化缝隙片的外部部分以支撑并固定图案化缝隙片；以及

拉力施加单元，在图案化缝隙片设置在图案化缝隙片框架上之后向图案化缝隙片施加拉力，

其中，拉力施加单元位于图案化缝隙片和图案化缝隙片框架彼此连接的位置与图案化缝隙片的中心部分之间，使得拉力施加单元在图案化缝隙片框架的内表面上并且拉力施加单元的顶表面接触外部部分，

其中，拉力施加单元能够沿着图案化缝隙片框架的内表面在上升方向和下降方向上移动，使得在图案化缝隙片与图案化缝隙片框架连接到彼此时，拉力施加单元沿着朝着图案化缝隙片的顶部的方向移动以在与所述方向垂直的方向上向图案化缝隙片施加拉力。

2.如权利要求1所述的用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，其中，图案化缝隙片在图案化缝隙片框架上，外部部分焊接到图案化缝隙片框架。

3.如权利要求1所述的用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，其中，拉力施加单元通过沿着图案化缝隙片框架的内表面在上升方向上移动来向图案化缝隙片施加拉力。

4.如权利要求1所述的用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，其中：

存在n个拉力施加单元，其中，n是大于1的自然数，

第n拉力施加单元在第n-1拉力施加单元的内表面上。

5.如权利要求1所述的用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，其中，拉力施加单元分别形成在图案化缝隙片框架的内表面上。

6.一种用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，所述图案化缝隙片框架组件包括：

图案化缝隙片，包括具有图案的中心部分和不包括图案的外部部分；

图案化缝隙片框架，接触图案化缝隙片的外部部分以支撑并固定图案化缝隙片；以及

拉力施加单元，在图案化缝隙片设置在图案化缝隙片框架上之后向图案化缝隙片施加拉力，

其中，图案化缝隙片框架包括容纳槽，在容纳槽中容纳拉力施加单元，并且容纳槽被外部部分覆盖，

拉力施加单元能够在容纳槽内沿着上升方向和下降方向移动，使得当拉力施加单元沿着上升方向移动以突出到容纳槽外时，施加拉力以拉紧图案化缝隙片。

7.如权利要求6所述的用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，其中，存在多个容纳槽并且拉力施加单元在所述多个容纳槽中的每个中。

8.如权利要求7所述的用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，其中，所述多个容纳槽沿着远离图案化缝隙片的中心点的后退方向彼此分离。

9.如权利要求6所述的用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，其中，存在多个拉力施加单元，所述多个拉力施加单元中的每个拉力施加单元包括用于容纳另一个拉力施加单元的容纳部。

10.如权利要求9所述的用于沉积材料的图案化缝隙片框架组件，其中：

存在n个拉力施加单元，其中，n是大于1的自然数，并且

第一拉力施加单元容纳在容纳槽中，第二拉力施加单元容纳在第一拉力施加单元的容纳部中，第n拉力施加单元容纳在第n-1拉力施加单元的容纳部中。