[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法无效
| 申请号： | 201310225232.2 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN104233193A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李嘉宸;黄添旺 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;吕俊清 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开提出一种蒸镀装置及蒸镀方法，所述蒸镀装置包括：主腔室，用于容置所述蒸发源和所述基板；及第一扩展腔室和第二扩展腔室，能够与所述主腔室分别相互连通和相互隔离，其中，所述第一扩展腔室包括第一金属遮罩，所述第二扩展腔室包括第二金属遮罩，在蒸镀中，所述第一金属遮罩或所述第二金属遮罩交替伸入所述主腔室中并位于所述基板和所述蒸发源之间以遮罩所述基板。本公开的第一金属遮罩和第二金属遮罩在蒸镀作业时能够交替使用，因此能够提高作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，用于将容置在蒸发源（11）中的蒸镀材料蒸镀到基板（S）上，所述蒸镀装置包括：主腔室（1），用于容置所述蒸发源（11）和所述基板（S）；第一扩展腔室（2）和第二扩展腔室（3），能够与所述主腔室（1）分别相互连通和相互隔离；第一金属遮罩（21），设置在所述第一扩展腔室（2）中；以及第二金属遮罩（31），设置在所述第二扩展腔室（3）中；其中，在蒸镀中所述第一金属遮罩（21）和所述第二金属遮罩（31）交替伸入所述主腔室（1）中并位于所述基板（S）和所述蒸发源（11）之间以遮罩所述基板（S）。
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