[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，用于将容置在蒸发源（11）中的蒸镀材料蒸镀到基板（S）上，所述蒸镀装置包括：

主腔室（1），用于容置所述蒸发源（11）和所述基板（S）；

第一扩展腔室（2）和第二扩展腔室（3），能够与所述主腔室（1）分别相互连通和相互隔离；

第一金属遮罩（21），设置在所述第一扩展腔室（2）中；以及

第二金属遮罩（31），设置在所述第二扩展腔室（3）中；

其中，在蒸镀中所述第一金属遮罩（21）和所述第二金属遮罩（31）交替伸入所述主腔室（1）中并位于所述基板（S）和所述蒸发源（11）之间以遮罩所述基板（S）。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述第一扩展腔室（2）和所述第二扩展腔室（3）设置在所述主腔室（1）的两侧。

3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述主腔室（1）在对应所述第一扩展腔室（2）和所述第二扩展腔室（3）的两侧设置有第一开口（14）和第二开口（15），所述第一扩展腔室（2）在对应所述第一开口（14）的位置设置有第一扩展腔室开口（23），所述第二扩展腔室（3）在对应所述第二开口（15）的位置设置有第二扩展腔室开口（33），所述第一金属遮罩（21）能够通过所述第一扩展腔室开口（23）和所述第一开口（14）进入所述主腔室（1），所述第二金属遮罩（31）能够通过所述第二扩展腔室开口（33）和所述第二开口（15）进入所述主腔室（1）。

4.如权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述主腔室（1）还包括对应所述第一开口（14）的第一门阀（16）和对应所述第二开口（15）的第二门阀（17），所述第一门阀（16）用以将所述主腔室（1）与所述第一扩展腔室（2）隔离，所述第二门阀（17）用以将所述主腔室（1）和所述第二扩展腔室（3）隔离。

5.如权利要求4所述的蒸镀装置，其中，所述第一扩展腔室（2）包括第一转轴（22），所述第二扩展腔室（3）包括第二转轴（32），所述第一金属遮罩（21）连接于所述第一转轴（22），所述第二金属遮罩（31）连接于所述第二转轴（32），当所述第一门阀（16）或所述第二门阀（17）打开时，所述第一转轴（22）或所述第二转轴（32）能够旋转以将所述第一金属遮罩（21）或所述第二金属遮罩（31）旋转进入所述主腔室（1）。

6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述第一扩展腔室（2）和所述第二扩展腔室（3）是可拆卸地设置在所述主腔室（1）的两侧。

7.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中还包括设置在所述第一扩展腔室（2）中的第一清理机构（24）以及设置在所述第二扩展腔（3）中的第二清理机构（34），所述第一清理机构（24）和所述第二清理机构（34），用于分别清理所述第一金属遮罩（21）和所述第二金属遮罩（31）上的蒸镀材料。

8.如权利要求7所述的蒸镀装置，其中，所述第一清理机构（24）为刮除臂，并包括第一刮除头（241），所述第二清理机构（34）为刮除臂，并包括第二刮除头（341），所述第一刮除头（241）和所述第二刮除头（341）能够往复运动以刮除所述第一金属遮罩（21）和所述第二金属遮罩（31）下部的蒸镀材料。

9.如权利要求7所述的蒸镀装置，其中，所述第一清理机构（24）和所述第二清理机构（34）分别从所述第一扩展腔室（2）和所述第二扩展腔室（3）的侧壁延伸出，并位于所述第一金属遮罩（21）和所述第二金属遮罩（31）的下方。

10.如权利要求7所述的蒸镀装置，其中，还包括设置在所述第一扩展腔室（2）中的第一托盘（25）以及设置在所述第二扩展腔室（3）中的第二托盘（35），所述第一托盘（25）和所述第二托盘（35）分别用于承接从所述第一金属遮罩（21）和所述第二金属遮罩（31）上清理下的蒸镀材料。

11.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述主腔室（1）、所述第一扩展腔室（2）和所述第二扩展腔室（3）分别具有开门，用以打开所述主腔室（1）、所述第一扩展腔室（2）和所述第二扩展腔室（3）。