[发明专利]一种反射式点衍射离轴同步移相干涉检测装置与检测方法

摘要

本发明属于光学干涉检测领域，特别涉及一种反射式点衍射离轴同步移相的干涉检测装置。反射式点衍射离轴同步移相干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、第一偏振片、四分之一波片、第一透镜、非偏振分光棱镜、第二偏振片、平面反射镜、带有小孔的平面反射镜、第二透镜、偏振分光棱镜、图像传感器。本发明兼顾了CCD带宽利用率、CCD视场利用率、测量实时性、抗干扰能力和系统复杂性，使系统的整体性能有了提高；本发明结构简单，成本低；在操作中不需要改变光路，也不需要移动任何实验器件，操作方便灵活，稳定性高，系统复杂性低。

主权项

一种反射式点衍射离轴同步移相干涉检测装置，包括光源（1）、准直扩束系统（2），第一偏振片（3）、四分之一波片（4）、第一透镜（6）、非偏振分光棱镜（7）、第二偏振片（8）、平面反射镜（9），带有小孔的平面反射镜（10），第二透镜（11），偏振分光棱镜（12），图像传感器（13）；其特征在于：光源（1）发射的光束经准直扩束系统（2）后依次通过第一偏振片（3）四分之一波片（4）和待测物体（5），经第一透镜（6）后聚焦的光束被非偏振分光棱镜（7）分成反射的物光和透射的参考光；物光经过第二偏振片（8）滤波后照射在第一平面反射镜（9）上，参考光照射在第二平面反射镜（10）上；经过反射的物光和参考光经非偏振分光棱镜（7）汇合成一束后依次通过第二透镜（11）和分光面与入射光束呈0°角的偏振分光棱镜（12）后在偏振分光棱镜的分光面两侧形成两幅干涉图，同时被图像传感器（13）采集到计算机中。