[发明专利]一种多通道型金属钯复合膜的循环化学镀方法

摘要

本发明涉及一种多通道型金属钯复合膜的循环化学镀方法。先将活化敏化后的多孔陶瓷载体装入镀钯模具，并将模具两端连接硅胶管置于恒温水浴中，然后采用恒流蠕动泵将镀液输送到载体通道内，最后采用循环化学镀形成高透氢选择性金属钯复合膜。本发明操作简单，易于控制，能有效地实现钯膜的均匀生长，增强钯膜的致密性和附着力，适于大规模工业生产。

主权项

一种多通道型金属钯复合膜的循环化学镀方法，包括载体的预处理、载体表面活化敏化、化学镀、后处理四个步骤，其特征在于：多通道载体内表面进行活化敏化后，先将载体装入镀钯模具，并将模具两端连接硅胶软管置于恒温水浴中，然后采用恒流蠕动泵将镀液输送到载体通道内，进行镀液于载体通道内循环流动的化学镀，直至达到所需的膜厚；所述的镀钯模具包括两端开口的中空筒状壳体、锥形封头和硅橡胶密封垫圈，壳体两端均设有锥形封头，于锥形封头与壳体间设有硅橡胶密封垫圈，其中于靠近壳体两端的侧壁上分别设有方向相反的通孔作为排气孔；所述锥形封头上设有与壳体内相连通的通孔；于模具两端锥形封头的通孔上分别连接有硅胶软管，硅胶软管的另一端与镀液盛放容器相连接，于模具与镀液盛放容器相连的一条硅胶软管上设有恒流蠕动泵，载体置于镀钯模具壳体内，采用恒流蠕动泵将镀液输送到载体通道内。