[发明专利]成型电极大气等离子体加工回转零件装置无效
| 申请号： | 201310177035.8 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103236391A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 王波;李铎;姚英学;金会良;李娜;辛强;金江 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B23K10/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 成型电极大气等离子体加工回转零件装置，它属于等离子体加工碳化硅或融石英等硅基材料回转类零件的技术领域。它是为了解决高精度回转零件的加工效率和质量问题。该装置旋转成形电极的上端面绝缘连接在转轴上，旋转成形电极的中心开有出气孔；在加工内表面时，旋转成形电极的工作面直径尺寸需要比待加工零件的内表面直径尺寸小5mm-15mm，在加工外表面时，旋转成形电极的工作面直径尺寸需要比待加工零件的外表面直径尺寸大5mm-15mm；旋转成形电极靠近待加工零件的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙。本发明专利采用简单合理的结构，利用大气等离子体加工方法，实现了全表面复映去除，同时解决了高精度回转零件的加工效率和质量问题。 | ||
| 搜索关键词： | 成型 电极 大气 等离子体 加工 回转 零件 装置 | ||
【主权项】：
成型电极大气等离子体加工回转零件装置，其特征在于它由旋转成形电极（1）、升降装置（2）、射频电源（3）、混合等离子体气源（5）组成；旋转成形电极（1）的上端面绝缘连接在升降装置（2）的竖直运动工作转轴（2‑1）上，旋转成形电极（1）的中心开有出气孔（1‑1）；在加工内表面时，旋转成形电极（1）的工作面直径尺寸需要比待加工零件（4）的内表面直径尺寸小5mm‑15mm，在加工外表面时，旋转成形电极（1）的工作面直径尺寸需要比待加工零件（4）的外表面直径尺寸大5mm‑15mm；出气孔（1‑1）通过气管（5‑1）与混合等离子体气源（5）导气连通；使旋转成形电极（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；待加工零件（4）装卡在载物台（2‑2）上，将载物台（2‑2）接地作为大气等离子体放电的阴极；旋转成形电极（1）靠近待加工零件（4）的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为5mm‑15mm；混合等离子体气源（5）包含反应气体、等离子体气体和辅助气体，所述反应气体与等离子体气体的流量比为1：10~1：50，辅助气体与反应气体的流量比为1：10~1：1。
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