[发明专利]成型电极大气等离子体加工回转零件装置

权利要求书

1.成型电极大气等离子体加工回转零件装置，其特征在于它由旋转成形电极（1）、升降装置（2）、射频电源（3）、混合等离子体气源（5）组成；

旋转成形电极（1）的上端面绝缘连接在升降装置（2）的竖直运动工作转轴（2-1）上，旋转成形电极（1）的中心开有出气孔（1-1）；在加工内表面时，旋转成形电极（1）的工作面直径尺寸需要比待加工零件（4）的内表面直径尺寸小5mm-15mm，在加工外表面时，旋转成形电极（1）的工作面直径尺寸需要比待加工零件（4）的外表面直径尺寸大5mm-15mm；出气孔（1-1）通过气管（5-1）与混合等离子体气源（5）导气连通；使旋转成形电极（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；待加工零件（4）装卡在载物台（2-2）上，将载物台（2-2）接地作为大气等离子体放电的阴极；旋转成形电极（1）靠近待加工零件（4）的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为5mm-15mm；混合等离子体气源（5）包含反应气体、等离子体气体和辅助气体，所述反应气体与等离子体气体的流量比为1：10~1：50，辅助气体与反应气体的流量比为1：10~1：1。

2.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件装置，其特征在于所述转成形电极（1）为圆形外凸形。

3.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件装置，其特征在于所述转成形电极（1）为圆形内凹形。

4.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件装置，其特征在于所述转成形电极（1）为圆管形。

5.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件装置，其特征在于所述旋转成形电极（1）的材质为铝、铜、铁。

6.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件装置，其特征在于所述混合等离子体气源（5）中的大气等离子体激发气体可以为氦气、氩气等惰性气体；反应气体可以为六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮等；辅助气体可以为氧气。