[发明专利]成型电极大气等离子体加工回转零件装置

说明书

技术领域

本发明属于等离子体加工碳化硅或融石英等硅基材料回转类零件的技术领域。

背景技术

近年来，对于高精度回转类零件，如半球陀螺谐振子、大曲率非球面光学透镜、聚光非球面透镜等，在航空航天、军事、能源、芯片制造领域需求越来越强烈，同时对加工表面的要求越来越苛刻。加工表面需要达到Ra 1nm的表面粗糙度值，并严格限制由加工过程引起的材料表层及亚表层损伤。因为这类零件多为碳化硅、融石英等脆硬难加工材料，采用传统的超精密磨削以及后续的抛光过程，存在加工周期长、加工表面及亚表面存在损伤、工件合格率低等问题，远远不能满足实际需求。例如，现代惯性陀螺中的关键零件半球陀螺谐振子，其材料是石英玻璃，目前采用的磨削工艺存在效率低、废品率高、壁厚加工不均匀等问题。即使采用近些年来新提出的加工装置，如磁流变抛光、子口径等离子抛光，虽然可以达到表面质量，其加工效率还是十分低，远远满足不了实际要求。

发明内容

本发明的目的是提供一种成型电极大气等离子体加工回转零件装置，为了解决高精度回转零件的加工效率和质量问题，从而大大缩短加工周期，有效降低加工成本，以满足航天航空、能源等领域的对该类零件需求的问题。

所述的目的是通过以下方案实现的：所述的一种成型电极大气等离子体加工回转零件装置，它由旋转成形电极、升降装置、射频电源、混合等离子体气源组成；

旋转成形电极的上端面绝缘连接在升降装置的竖直运动工作转轴上，旋转成形电极的中心开有出气孔；在加工内表面时，旋转成形电极的工作面直径尺寸需要比待加工零件的内表面直径尺寸小5mm-15mm，在加工外表面时，旋转成形电极的工作面直径尺寸需要比待加工零件的外表面直径尺寸大5mm-15mm；出气孔通过气管与混合等离子体气源导气连通；使旋转成形电极与射频电源的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；待加工零件装卡在载物台上，将载物台接地作为大气等离子体放电的阴极；旋转成形电极靠近待加工零件的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为5mm-15mm；混合等离子体气源包含反应气体、等离子体气体和辅助气体，所述反应气体与等离子体气体的流量比为1：10~1：50，辅助气体与反应气体的流量比为1：10~1：1。

本发明专利的技术优势：

1、本发明专利采用成型电极大气等离子体加工，实现了全表面复映去除，同时解决了高精度回转零件的加工效率和质量问题，克服了传统加工周期长、表面存在变质层等缺点；

2、成型电极的制造简单、精度高，只需采用导电材料，可选择加工性能良好的金属材料制备电极，如铝、铜、铁等，避免了对硬脆难加工材料的直接加工，而且加工对电极损耗几乎为零；

3、通过调整反应气体流量及射频功率，对于同一电极，可实现去除量可根据需要调整，即同一成型电极可以加工不同尺寸的工件，这是传统成型加工不具备的优点，能够减少成型电极的类型，有效降低了加工的成本；

4、应用本发明专利，可以大大简化加工设备的构成，只需要两个轴的运动便可实现高精度的加工，避免了复杂的运动控制，减少了加工周期，提高了加工的稳定性和确定性。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是图1中旋转成形电极1与待加工零件4之间的位置关系结构示意图；

图3是旋转成形电极1为圆形内凹形的结构示意图；

图4是旋转成形电极1为圆管形的结构示意图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1、图2所示，本实施方式由旋转成形电极1、升降装置2、射频电源3、混合等离子体气源5组成；