[发明专利]一种基于背钝化太阳能电池制作的背面抛光工艺

摘要

本发明公开了一种基于背钝化太阳能电池制作的背面抛光工艺，其步骤包括：先在硅片正面生成一定厚度，起保护作用的氮化硅掩膜，再使用加热的浓碱液对硅片背面进行中度腐蚀，达到抛光效果。本发明是一种低成本的化学抛光法，经济适用，适合大生产使用，化学液的处理也非常简单，一般的工厂水处理都可以完全解决，经济，环保。

主权项

一种基于背钝化太阳能电池制作的背面抛光工艺，其特征在于，先在硅片正面生成厚度大于60纳米，起保护作用的氮化硅掩膜；再使用加热的浓碱液对硅片背面进行中度腐蚀，达到抛光效果；所述浓碱液的碱质量浓度在20%‑40%，浓碱液温度控制在40℃‑60℃；所述腐蚀的时间为30秒‑300秒。