[发明专利]二极管模组和其制作方法及光互连装置有效
| 申请号： | 201310126774.4 | 申请日： | 2013-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN104103725B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 许义忠 | 申请（专利权）人： | 台州市航杰灯具有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/12;H01L33/00;G02B6/42 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋知识产权代理事务所(普通合伙) 44419 | 代理人： | 曹明兰 |
| 地址： | 318056 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种二极管模组，包括半导体基底层、二极管外延层及光波导。该半导体基底层具有一表面，该表面包括依次相邻设置的外延层生长区、光波导固定区及光纤接入区，该光纤接入区开设有光纤收容沟槽，该光纤收容沟槽的延伸方向指向该光波导固定区。该二极管外延层形成于该外延层生长区，该二极管外延层包括沿远离该表面依次排列的半导体缓冲层和PN结，该PN结之间形成有多重量子井结构层。该光波导形成于该光波导固定区，该光波导其中一侧面与该多重量子井结构层一侧面相对。本发明还涉及该二极管模组的制作方法及光互连装置。 | ||
| 搜索关键词： | 二极管 模组 制作方法 互连 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光互连装置，包括：激光二极管磊晶模组，包括：第一半导体基底层，具有一第一表面，该第一表面包括依次相邻设置的第一外延层生长区、第一光波导固定区及第一光纤接入区，该第一光纤接入区开设有第一光纤收容沟槽，该第一光纤收容沟槽的延伸方向指向该第一光波导固定区；激光二极管外延层，形成于该第一外延层生长区，该激光二极管外延层包括沿远离该第一表面依次排列的N型缓冲层、第一N型半导体层、第一多重量子井结构层及第一P型半导体层；及第一光波导，形成于该第一光波导固定区，该第一光波导其中一侧面与该第一多重量子井结构层一侧面相对；光电二极管磊晶模组，包括：第二半导体基底层，具有一第二表面，该第二表面包括依次相邻设置的第二外延层生长区、第二光波导固定区及第二光纤接入区，该第二光纤接入区开设有第二光纤收容沟槽，该第二光纤收容沟槽的延伸方向指向该第二光波导固定区；光电二极管外延层，形成于该第二外延层生长区，该光电二极管外延层包括沿远离该第二表面依次排列的P型缓冲层、第二P型半导体层、第二多重量子井结构层及第二P型半导体层；及第二光波导，形成于该第二光波导固定区，该第二光波导其中一侧面与该第二多重量子井结构层一侧面相对；及光纤，该光纤的一端收容于该第一光纤收容槽且端面与该第一光波导正对，另一端收容于该第二光纤收容槽且端面与该第二光波导正对。
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