[发明专利]一种脉冲偏压辅助等离子体高速处理有机薄膜的方法有效
| 申请号： | 201310123344.7 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103275342A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 郭颖;解艳凤;黄晓江;张迪;石建军;张菁 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | C08J7/12 | 分类号： | C08J7/12;C08L67/02 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201620 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种脉冲偏压辅助等离子体高速处理有机薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：将PET膜置于去离子水中超声清洗15-30分钟；取出PET膜，再置于浓度大于等于99.7％的酒精中超声清洗10-20分钟；取出PET膜，静置于培养皿内4-24小时，使PET膜自然晾干；将晾干的PET膜放入反应腔的载物台，并将其固定；打开仪器电源，通过抽气系统，抽至1×10-4-3.6×10-4Pa，打开进气系统，冲入氧氩混合气体；直至气压回升至0.1-20Pa时，同一时刻开启电脉冲与偏压脉冲，开始放电；不断调整脉冲偏压值，并观察PET膜接触角的变化。本发明具有设计合理、结构清晰、操作简便的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 偏压 辅助 等离子体 高速 处理 有机 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种脉冲偏压辅助等离子体高速处理有机薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将PET膜置于去离子水中超声清洗15‑30分钟；步骤2，取出PET膜，再置于浓度大于等于99.7％的酒精中超声清洗10‑20分钟；步骤3，取出PET膜，静置于培养皿内4‑24小时，使PET膜自然晾干；步骤4，将晾干的PET膜放入反应腔(7)的载物台(8)，并将其固定；步骤5，打开仪器电源，通过抽气系统(1)，抽至1×10‑4‑3.6×10‑4Pa；步骤6，打开进气系统(2)，冲入氧氩混合气体；步骤7，直至气压回升至0.1‑20Pa时，同一时刻开启电脉冲与偏压脉冲，开始放电；步骤8，不断调整脉冲偏压值，并观察PET膜接触角的变化。
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