[发明专利]摆片装置及其调整方法

摘要

本发明实施例公开了一种摆片装置及其调整方法，属于半导体晶片加工技术领域。解决了现有的调整搭片问题的方法比较复杂，影响晶硅太阳能电池的生产效率的技术问题。该摆片装置，包括装载台、传送带和龙门架；装载台用于承载载板，载板上设置有若干个用于摆放硅片的片槽；装载台上设置有至少三个定位器，用于从至少三个方向调节并固定载板的位置；传送带位于装载台的一侧，用于传送待摆放的硅片；龙门架用于将传送带上的硅片摆放到载板上。该调整方法，包括：当硅片偏离片槽时，获取硅片偏离的距离；根据硅片偏离的距离，调节载板、传送带或龙门架的位置。本发明应用于制造晶硅太阳能电池的PECVD系统。

主权项

一种摆片装置，其特征在于：包括装载台、传送带和龙门架；所述装载台用于承载载板，所述载板上设置有若干个用于摆放硅片的片槽；所述装载台上设置有至少三个定位器，用于从至少三个方向调节并固定所述载板的位置；所述传送带位于所述装载台的一侧，用于传送待摆放的硅片；所述龙门架用于将所述传送带上的硅片摆放到所述载板上。