[发明专利]一种太阳能电池减反结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种太阳能电池减反结构及其制备方法，特指以红玫瑰花瓣为生物模板，制备均匀分布的单层氧化硅纳米颗粒阵列，再利用原子层沉积和斜角沉积技术（oblique-angledepositon）在颗粒表面制备立方型梯度折射率结构—折射率轮廓曲线（index-profilecurve）（折射率随着多层结构的变化）为3次幂（cubic）的折射率梯度变化的减反膜（graded-refractiveindex-layer），用于提高电池效率，降低电池成本，属于太阳电池制造领域。

主权项

一种太阳能电池减反结构，包括硅片，其特征在于：所述硅片上均匀铺有氧化硅微球阵列，氧化硅微球阵列上设有利用原子层沉积和斜角沉积技术制备的3次幂的立方型梯度折射率结构，立方型梯度折射率结构从外至里依次为氧化硅纳米棒层、氧化铝层和氧化钛层，其中各层的膜厚以及材料折射率数值满足全向减反射原则，即n0 ns‑0.2≤(n1 n3/n2 )2≤n0 ns+0.2,其中n1、n2 、n3分别为从外至里三层膜材料折射率，ns为氧化硅球折射率，n0为空气折射率；n1为倾斜角度为45°的氧化硅纳米棒层的折射率；n2为氧化铝层的折射率，n3为氧化钛层的折射率。