[发明专利]用于使表面平坦化的组合物及方法无效
| 申请号： | 201310099931.7 | 申请日： | 2006-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103214972A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王育群;贾森.阿吉奥;陆斌;约翰.帕克;周仁杰 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于平坦化或抛光表面的组合物及方法。一种组合物包含0.01重量%至20重量%的α-氧化铝颗粒，其中所述α-氧化铝颗粒具有200nm或更小的平均直径，且80%的所述α-氧化铝颗粒具有500nm或更小的直径；有机酸；腐蚀抑制剂；及水。另一组合物包含α-氧化铝颗粒；有机酸；三唑和苯并三唑的双重腐蚀抑制剂，其中三唑与苯并三唑的重量百分比之比为0.1至4.8；及水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表面 平坦 组合 方法 | ||
【主权项】：
一种用于抛光在表面上具有含铜膜的基板的化学‑机械抛光组合物，其包含：(a)0.01重量%至20重量%的α‑氧化铝颗粒，其中所述α‑氧化铝颗粒具有100nm或更小的平均直径，且90%的所述α‑氧化铝颗粒具有200nm或更小的直径；(b)有机酸，其中所述有机酸选自丙二酸、丁二酸、己二酸、乳酸、苹果酸、柠檬酸、甘氨酸、天冬氨酸、酒石酸、葡萄糖酸、亚氨基二乙酸及反丁烯二酸；(c)腐蚀抑制剂，其中该腐蚀抑制剂为三唑和苯并三唑的混合物，且具有三唑与苯并三唑的重量百分比之比为0.1至4.4；及(d)水，其中所述抛光组合物具有4‑14的pH。
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