[发明专利]一种快速沉积类金刚石薄膜的装置

摘要

本发明为一种快速制备类金刚石薄膜的方法及装备。采用射频空心阴极效应，将等离子体束缚在一个特定的区域，负辉区合并，气体离化率成倍增加。同时，射频辉光放电过程中，电子被束缚在电极间，在放电空间来回运动，增加了与气体分子碰撞的次数，使电离能力显著提高从而提高等离子体的密度和能量，进而提高薄膜的沉积速率和膜质量，并显著提高生产效率，降低产品成本，易于实现工业化生产。

主权项

一种快速沉积类金刚石薄膜的装置，所述装置包括真空室、真空系统、电源系统、工件装卡及旋转系统、工作气体及反应气体的供给及流量控制系统； 其特征在于：所述装置还包括一射频空心阴极系统，所述系统为平板型，包括上阴极板及下阴极板，所述任一极板一侧设有气路接口，气体通过该极板供给，基片放在另一极板上；下阴极板安装在工件装卡及旋转系统的旋转支架上，气体由真空室通气口供给；上下阴极板通过三个长度可调螺杆连接，通过调整配套的螺母，调节两极板板间距，空心阴极系统通过下阴极板连接射频电源进行供电。