[发明专利]一种光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法

摘要

本发明公开了一种光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法，该装置包括加热炉、两端封闭的石英管、气体控制系统、真空系统、用以容置扩散源及待扩散的外延片的石英舟以及用以推送该石英舟进入石英管的真空推进装置，该石英管一端位于加热炉炉膛中，为恒温区，另一端位于加热炉炉膛外，为冷却区，并处于室温状态，该气体控制系统可向石英管内充入氮气，该真空系统通过真空管道可对石英管抽真空。本发明的方法既避免了传统闭管扩散用氢氧焰封石英管的风险和开石英管时管内负压下，残渣吸入石英管造成的外延片污染，也解决了传统开管扩散过程中温度不均匀，扩散深度不容易控制，而且冷却时间过长的问题，本发明的方法利于批量扩散。

主权项

一种光电探测器制作中锌的扩散装置，其特征在于，其包括加热炉、两端封闭的石英管、气体控制系统、真空系统、用以容置扩散源及待扩散的外延片的石英舟以及用以推送该石英舟进入石英管的真空推进装置，该石英管一端位于加热炉炉膛中，为恒温区，另一端位于加热炉炉膛外，为冷却区，并处于室温状态，该气体控制系统通过恒温进气管连接石英管的恒温区，该气体控制系统另通过冷却进气管连接石英管的冷却区，可分别向石英管内充入氮气，该真空系统通过真空管道连接该石英管，并对石英管抽真空，该真空管道上设有用以排放过多氮气的尾气管。