[发明专利]低温泵及其再生方法有效
| 申请号： | 201310064984.5 | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103291585A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 高桥走 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种低温泵及其再生方法，其课题在于提高低温泵再生所涉及的安全性。低温泵的再生方法包括如下步骤：使用于低温泵的压力传感器停止；开始用于吸附气体分子的超低温面的升温；在使压力传感器停止的状态下，开始低温泵的粗抽；及在使压力传感器停止的状态下，结束粗抽。该方法也可包括在粗抽结束后启动压力传感器的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 及其 再生 方法 | ||
【主权项】：
一种低温泵，其特征在于，具备：低温板，具备用于吸附气体分子的吸附区域；低温泵容器，包围所述低温板；粗抽阀，用于将所述低温泵容器连接于粗抽泵；压力传感器，用于测定所述低温泵容器的内压；及控制部，用于控制所述压力传感器的停止期间和所述低温板的再生；所述控制部将所述停止期间设定于所述再生的初始阶段，且为了在该停止期间进行至少一次所述低温泵容器的粗抽而打开所述粗抽阀。
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