[发明专利]低温泵及其再生方法

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

低温板，具备用于吸附气体分子的吸附区域；

低温泵容器，包围所述低温板；

粗抽阀，用于将所述低温泵容器连接于粗抽泵；

压力传感器，用于测定所述低温泵容器的内压；及

控制部，用于控制所述压力传感器的停止期间和所述低温板的再生；

所述控制部将所述停止期间设定于所述再生的初始阶段，且为了在该停止期间进行至少一次所述低温泵容器的粗抽而打开所述粗抽阀。

2.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述控制部在经过了所述停止期间时启动所述压力传感器，

所述控制部在容许所述低温泵容器的内压超过100Pa的所述再生的第2阶段使用所述压力传感器。

3.如权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

该低温泵进一步具备用于测定所述低温板的温度的温度传感器，

所述控制部在所述初始阶段执行升温控制，在该升温控制中向比被吸附的气体分子从所述吸附区域放出的温度更高的目标温度加热所述低温板，

在所述升温控制中，当所述温度传感器的测定温度超过所述被放出的温度时所述控制部执行所述粗抽，

所述停止期间包括从即将开始所述再生之前到关闭所述粗抽阀为止的期间。

4.如权利要求1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于，

该低温泵进一步具备用于将所述低温泵容器连接于吹扫气体源的放气阀，

在所述初始阶段，所述控制部为了进行所述低温泵容器的放气而打开所述放气阀，在所述粗抽阀被打开期间关闭所述放气阀来中断所述放气，

所述控制部在所述停止期间进行多次所述放气和所述粗抽。

5.如权利要求1至4中任一项所述的低温泵，其特征在于，

该低温泵进一步具备用于将所述低温泵容器的内压向外部放出的通气阀，

所述控制部在所述再生的第2阶段基于所述压力传感器的测定结果来决定是否打开所述通气阀。

6.如权利要求1至5中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述控制部在所述再生的第2阶段执行粗抽及放气，所述粗抽及放气为依次进行所述低温泵容器的粗抽和向所述低温泵容器放出吹扫气体，

所述停止期间设定为在所述粗抽及放气开始之前完成所述压力传感器的启动。

7.一种低温泵的再生方法，包括如下步骤：

停止用于低温泵的压力传感器，

开始用于吸附气体分子的超低温面的升温，

在使所述压力传感器停止的状态下，开始低温泵的粗抽，及

在使所述压力传感器停止的状态下，结束所述粗抽。

8.如权利要求7所述的低温泵的再生方法，其特征在于，

该方法进一步包括如下步骤：

在结束所述粗抽之后启动所述压力传感器，及

将捕集于低温泵的气体边由所述压力传感器监控，边向外部排出。