[发明专利]低温泵及其再生方法

说明书

技术领域

本申请主张基于2012年3月1日申请的日本专利申请第2012-045268号的优先权。该申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及低温泵及其再生方法。

背景技术

低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉到冷却成超低温的低温板上而进行排气的真空泵。一般为了实现半导体电路制造工艺等所要求的清洁的真空环境而广泛地利用低温泵。低温泵是所谓的气体捕集式真空泵，因此需要进行向外部定期排出捕捉的气体的再生。

众所周知，在再生中当低温泵的泵壳内的压力较低时使第1真空计动作，压力较高时使第2真空计动作。第1真空计具有灯丝，第2真空计不具有灯丝。在再生中从低温板放出可燃性气体或助燃性气体。压力较高时，通过断开第1真空计来消除点火源（例如，参考专利文献1）。

专利文献1：日本特开平11-324916号公报

但是，在上述结构中，断开第1真空计之前气体已开始从低温板放出。点火源与可燃性气体并存时，具有产生偶发性点火的风险。例如，为了再生而开始加热低温板，所吸附的可燃性气体被快速放出，有可能在低温泵产生能够燃烧的气体成分。此时未必能保证第1真空计切换为断开。

发明内容

本发明的一种形态的例示性的目的之一在于提高低温泵的再生所涉及的安全性。

本发明的一种形态的低温泵，具备：低温板，具备用于吸附气体分子的吸附区域；低温泵容器，包围所述低温板；粗抽阀，用于将所述低温泵容器连接于粗抽泵；压力传感器，用于测定所述低温泵容器的内压；及控制部，用于控制所述压力传感器的停止期间和所述低温板的再生。所述控制部将所述停止期间设定于所述再生的初始阶段，且为了在该停止期间进行至少一次所述低温泵容器的粗抽而打开所述粗抽阀。

被吸附的气体在开始再生当初从低温板放出。通过使压力传感器停止，能够在再生的初始阶段消除该传感器成为点火源的风险。被吸附的气体常常含有可燃性气体。在压力传感器停止的期间，能够通过粗抽将这种气体从低温泵排出。如此，能够避免点火源和可燃性气体这样的多个危险因素并存。因此，能够提高低温泵的安全性。

所述控制部也可在已经过了所述停止期间时启动所述压力传感器。所述控制部也可在容许所述低温泵容器的内压超过100Pa的所述再生的第2阶段使用所述压力传感器。

如此一来，能够将在再生当初从低温板放出的可燃性气体排出的状态下启动压力传感器。由此，能够在与真空排气运行中相比低温泵内有可能成为相当高的压力的再生中间阶段以后的工序中安全地使用压力传感器。

低温泵也可具备用于测定所述低温板的温度的温度传感器。所述控制部也可在所述初始阶段执行升温控制，在该升温控制中向比被吸附的气体分子从所述吸附区域放出的温度更高的目标温度加热所述低温板。所述控制部也可在所述升温控制中，当所述温度传感器的测定温度超过所述放出温度时执行所述粗抽。所述停止期间也可包括从即将开始所述再生之前到关闭所述粗抽阀为止的期间。

如此一来，低温板被加热，所吸附的气体被放出，执行粗抽。因此，能够排出这种吸附气体的大半。由于压力传感器停止直至关闭粗抽阀为止，因此能够在粗抽结束后启动压力传感器。

低温泵也可具备用于将所述低温泵容器连接于吹扫气体源的放气阀。所述控制部也可在所述初始阶段，为了进行所述低温泵容器的放气而打开所述放气阀，在所述粗抽阀被打开期间关闭所述放气阀来中断所述放气。所述控制部也可在所述停止期间进行多次所述放气和所述粗抽。

通过吹扫气体的升温作用促进气体从低温泵放出。所放出的气体由吹扫气体稀释。被稀释的低浓度的气体通过粗抽而被排出。因此，能够进一步降低气体在低温泵内燃烧的可能性。并且，通过进行多次放气和粗抽，能够在工序上充分保证气体为低浓度。

低温泵也可具备用于将所述低温泵容器的内压向外部放出的通气阀。所述控制部也可在所述再生的第2阶段基于所述压力传感器的测定结果来决定是否打开所述通气阀。

通过打开通气阀，能够将低温泵容器的内压向外部放出。能够避免在低温泵内产生过度的高压。起到提高低温泵的安全性的作用。

所述控制部也可在所述再生的第2阶段执行依次进行所述低温泵容器的粗抽和向所述低温泵容器供给吹扫气体的粗抽和放气。所述停止期间也可设定为在所述粗抽和放气开始之前完成所述压力传感器的启动。

这种粗抽和放气，促进积蓄于低温泵的冰的溶解，起到有效地进行水的再生的作用。能够边通过压力传感器监控压力，边执行粗抽和放气。