[发明专利]固体拍摄装置

摘要

本发明的固体拍摄装置提高形成图像的画质。本实施方式的固体拍摄装置包含：被半导体基板150的元件分离区域9包围的像素区域；设置在半导体基板150的第1面侧，包含布线的层间绝缘膜92；设置在像素区域内，对来自半导体基板150的第2面侧的光进行光电变换的光电变换元件1；设置在元件分离区域9内，具有从半导体基板150的第2面突出的突出部99的元件分离层90A；设置在半导体基板150的第2面侧，具有设置在突出部99间的色素膜17的滤色器117。

主权项

一种固体拍摄装置，其特征在于，具备：像素区域，其被半导体基板的元件分离区域包围；层间绝缘膜，其设置在上述半导体基板的第1面侧，包含布线；光电变换元件，其设置在上述像素区域内，对来自上述半导体基板的与上述第1面相对向的第2面侧的光进行光电变换；元件分离层，其设置在上述元件分离区域内的从上述半导体基板的上述第2面侧向上述第1面侧延伸的沟槽内，具有从上述半导体基板的第2面突出的突出部；以及滤色器，其设置在上述半导体基板的上述第2面侧，具有设置在上述突出部间的色素膜；相对于上述半导体基板的上述第2面的垂直方向上的上述突出部的第1尺寸，比相对于上述半导体基板的上述第2面的垂直方向上的上述色素膜的第2尺寸小，上述色素膜包含上述突出部间的下层部和设置在上述下层部上的上层部，相对于上述半导体基板的上述第2面的平行方向上的上述下层部的第3尺寸，比相对于上述半导体基板的上述第2面的平行方向上的上述上层部的第4尺寸小。