[发明专利]一种氮化铝陶瓷基板烧结工艺有效
| 申请号： | 201310059439.7 | 申请日： | 2013-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN103121848A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 江楠 | 申请（专利权）人： | 潮州三环（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/64 | 分类号： | C04B35/64;C04B35/581 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 515646 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氮化铝陶瓷基板烧结工艺，所述工艺包括如下步骤：1）将氮化铝坯卷冲剪成一定尺寸的生坯；2）在氮化铝生坯表面敷上一层隔粘粉；3）将氮化铝生坯按次序正反面交错叠放在一起，优选5~25片叠放；4）在叠放好的氮化铝生坯上面放置重物，放入真空干燥箱内进行压平陈化处理，处理24~96小时；5）将压平陈化处理后的坯放在承烧板并放入间歇炉内进行排胶，排胶时间为80~200小时，最高排胶温度为450~700℃；6）将排胶后的产品放入烧结炉内烧结，烧结温度为1700~1900℃；7）用除尘设备除去烧结后的氮化铝基板表面的隔粘粉。本工艺能够实现氮化铝基板一次平整烧结，烧成后产品翘曲≤0.05mm/25.4mm，能够保证产品的平整度，从而节约成本和提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 陶瓷 烧结 工艺 | ||
【主权项】：
一种氮化铝陶瓷基板烧结工艺，其特征在于，包括以下步骤：1）将氮化铝坯卷冲剪成一定尺寸的生坯；2）在氮化铝生坯表面敷上一层隔粘粉；3）将氮化铝生坯按次序正反面交错叠放在一起；4）在叠放好的氮化铝生坯上面放置重物，放入真空干燥箱内进行压平陈化处理；5）将压平陈化处理后的氮化铝生坯放在承烧板并放入间歇炉内进行排胶；6）将排胶后的产品放入烧结炉内烧结；7）用除尘设备除去烧结后的氮化铝基板表面的隔粘粉。
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