[发明专利]掩模板

摘要

本发明公开了一种掩模板，所述掩模板包括不透光区和狭缝状透光区，所述狭缝状透光区设置有狭缝，所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线，所述狭缝存在拐角，所述拐角两侧狭缝的内径分别为A1、A2，所述凹状圆弧的半径分别为R1、R2，所述拐角分为内角和外角，所述狭缝在拐角处通过内角凹状圆弧和外角凹状圆弧连接。本发明的掩模板，采用连续的凹状圆弧曲线狭缝，并对狭缝拐角处进行平滑连接，不仅实现了窄线宽，而且线宽平滑无毛刺，保证了线宽的均一度，能够有效的避免拐角处线宽细线和过刻等问题，满足了两个方向窄线宽的需求，提高了产品生产制造的成品率和品质。

主权项

一种掩模板，所述掩模板包括不透光区和狭缝状透光区，所述狭缝状透光区设置有狭缝，其特征在于，所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线。