[发明专利]掩模板

权利要求书

1.一种掩模板，所述掩模板包括不透光区和狭缝状透光区，所述狭缝状透光区设置有狭缝，其特征在于，所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线。

2.权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述狭缝两侧边缘的凹状圆弧的沿中心轴对称。

3.权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述凹状圆弧为半圆弧。

4.权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述狭缝包括第一狭缝和第二狭缝，所述第一狭缝与第二狭缝之间存在拐角，所述第一狭缝与第二狭缝之间通过拐角凹状圆弧连接。

5.权利要求4所述的掩模板，其特征在于，所述拐角分为内角和外角，所述第一狭缝与第二狭缝在拐角处通过内角凹状圆弧和外角凹状圆弧连接。

6.权利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述内角凹状圆弧为以第一狭缝的凹状圆弧半径与第二狭缝的凹状圆弧半径的平均值为半径，内角凹状圆弧角度为拐角角度的凹状圆弧。

7.权利要求5所述的掩模板，其特征在于，当内角两侧凹状圆弧相互重叠时，删除相互重叠部分的凹状圆弧，所述内角凹状圆弧为以内角顶点到删除后距内角顶点距离最近的凹状圆弧端点之间的距离为半径，内角凹状圆弧角度为拐角角度的凹状圆弧。

8.权利要求6或7任意一项所述的掩模板，其特征在于，所述外角两侧的凹状圆弧曲线分别向外角顶点延伸，所述凹状圆弧曲线在延伸到距离外角顶点小于各自凹状圆弧直径处停止，所述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点之间的距离为直径的半圆弧。

9.权利要求6或7任意一项所述的掩模板，其特征在于，所述外角两侧的凹状圆弧曲线分别向外角顶点延伸，所述凹状圆弧曲线在延伸到距离外角顶点小于各自直径处停止，所述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点及外角顶点为顶点的外接圆弧。

10.权利要求5所述的掩模板，其特征在于，当拐角角度为180度时，所述内角凹状圆弧与所述外角凹状圆弧同化为连接圆弧，所述连接圆弧为以第一狭缝和第二狭缝内径差的一半为半径的1/4圆弧。