[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

摘要

本发明提供一种能够在相对于载物台搬入搬出被处理基板时能够稳定保持基板、防止基板的位置错位的基板处理装置和基板处理方法。该基板处理装置具备：能够载置被处理基板（G）的载物台（11）；能够升降地设置于上述载置台的周围、在上升位置向上述载物台的上方突出支承上述被处理基板的周缘部的多个支承销（16）；和使上述多个支承销升降移动的支承销升降机构（17），在上述多个支承销的上升位置，分别设置于上述载物台的至少一对相对的边侧的上述多个支承销，沿着上述载物台的边配置为支承位置的高度凹凸不同。

主权项

一种基板处理装置，在载物台上载置被处理基板，对所述被处理基板实施规定的处理，该基板处理装置的特征在于：具备：能够载置所述被处理基板的所述载物台；能够升降地设置于所述载物台的周围、在上升位置向所述载置台的上方突出支承所述被处理基板的周缘部的多个支承销；和使所述多个支承销升降移动的支承销升降机构，在所述多个支承销的上升位置，分别设置于所述载物台的至少一对相对的边侧的所述多个支承销，沿着所述载物台的边配置为支承位置的高度凹凸不同。