[发明专利]引线框及其制造方法和半导体装置及其制造方法有效
申请号: | 201310031813.2 | 申请日: | 2013-01-28 |
公开(公告)号: | CN103227115B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 宫尾仁 | 申请(专利权)人: | 新光电气工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/495;H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉,黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供引线框及其制造方法和半导体装置及其制造方法,提高了芯片安装盘的背面设置的密封树脂的密合性。其中具有以下工序通过第1冲压加工在芯片安装盘(10)的背面形成矩形状的第1凹部(D1),该第1凹部在一方的相对的2边具有在深度方向上倾斜的第1倾斜侧面(S1),在另一方的相对的2边具有在深度方向上直立的直立侧面(VS);通过第2冲压加工,以在第1凹部(D1)的直立侧面(VS)的横向区域中配置具有在深度方向上倾斜的第2倾斜侧面(S2)的第2凹部(D2)的第2倾斜侧面(S2)的方式,在芯片安装盘(10)的背面形成第2凹部(D2),由此使得第1凹部(D1)的直立侧面(VS)成为朝向与第1倾斜侧面(S1)相反的方向倾斜的反向倾斜侧面(Sx),芯片安装盘的正面是半导体元件搭载面。 | ||
搜索关键词: | 引线 及其 制造 方法 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种引线框,其特征在于,该引线框具备:芯片安装盘;第1凹部,其形成在所述芯片安装盘的背面;以及第2凹部,其形成在所述第1凹部的宽度方向的外侧区域中,且位于所述芯片安装盘的背面,其中,所述第1凹部由横置梯形柱形状形成,该横置梯形柱形状具有:第1倾斜侧面,其设置在一方的相对的2边,且在深度方向上倾斜;以及反向倾斜侧面,其设置在另一方的相对的2边,且在深度方向上朝向与所述第1倾斜侧面相反的方向倾斜,所述反向倾斜侧面是由于所述第2凹部而使得在深度方向上垂直地直立的侧面发生变形而形成的,所述第2凹部具有与所述第1凹部的反向倾斜侧面相对地配置的第2倾斜侧面,所述芯片安装盘的正面是半导体元件搭载面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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