[发明专利]刮伤掩模修补装置及方法

摘要

本发明公开了一种刮伤掩模修补装置及方法，该装置包括支架装置、缺陷检测装置以及修补模块，其中，支架装置安装在光刻机室内，所述缺陷检测装置和修补模块均安装在所述支架装置上，且所述修补模块包括多个不同尺寸的修补笔芯。所述刮伤掩模修补装置的支架装置直接安装在光刻机室内，能够在掩模刮伤时及时且快速的在光刻机内部进行修理，不影响光刻机的产能，使光刻机的功能更齐全、自动化程度更高，使掩模修补直接在光刻机内完成，充分利用了光刻机的内部空间，大幅度缩短了送修周期，且快速简便、成本低廉、不影响产能。

主权项

1.一种刮伤掩模修补装置，其特征在于，包括：支架装置，安装在光刻机室内用于固定刮伤掩模；缺陷检测装置，安装在所述支架装置上，并通过在所述支架装置上移动对所述刮伤掩模进行定位扫描及拍照；控制模块，根据所述缺陷检测装置的检测结果选择所述刮伤掩模的修补区域及路径，并对所述修补区域的掩模缺陷尺寸进行测量；以及修补模块，安装在所述支架装置上，包括多个不同尺寸的修补笔芯，并根据所述控制模块测量的结果选择对应尺寸的修补笔芯，并根据所述路径在所述支架装置上移动所述修补模块至所述修补区域对所述掩模缺陷进行修补；所述支架装置包括悬吊杆、掩模支架以及二维移动导杆，所述悬吊杆设置在所述掩模支架的两侧，所述二维移动导杆与所述缺陷检测装置和修补模块相连；所述修补模块还包括所述笔芯夹持装置和所述修补液的存储和抽取装置，其中，所述笔芯夹持装置包括卡盘和可升降杆；所述修补液的存储和抽取装置包括：抽取泵、存储瓶和存储管，所述可升降杆分别与所述二维移动导杆和卡盘接触，所述卡盘上设有与所述多个不同尺寸修补笔芯对应的卡槽，所述存储管设置在所述修补笔芯的顶部并与所述存储瓶相连，所述存储瓶与所述抽取泵相连；所述修补笔芯为采用速干墨水作为修补液的记号笔芯。