[发明专利]刮伤掩模修补装置及方法

说明书

本发明公开了一种刮伤掩模修补装置及方法，该装置包括支架装置、缺陷检测装置以及修补模块，其中，支架装置安装在光刻机室内，所述缺陷检测装置和修补模块均安装在所述支架装置上，且所述修补模块包括多个不同尺寸的修补笔芯。所述刮伤掩模修补装置的支架装置直接安装在光刻机室内，能够在掩模刮伤时及时且快速的在光刻机内部进行修理，不影响光刻机的产能，使光刻机的功能更齐全、自动化程度更高，使掩模修补直接在光刻机内完成，充分利用了光刻机的内部空间，大幅度缩短了送修周期，且快速简便、成本低廉、不影响产能。

技术领域

本发明涉及光刻机制造领域，特别涉及一种可应用于光刻机内部的刮伤掩模修补装置及方法。

背景技术

LCD（液晶显示屏）生产制造行业中，彩色滤光片的光刻制程需使用光刻机，由于接近式光刻机的价格远低于步进扫描光刻机，同时也能满足彩色滤光片的各项特性规格，所以业界彩色滤光片的光刻制程均采用近接式光刻设备。但实际生产过程中，由于接近式光刻机的掩模和载台上产品的间隙较小，一般在300um以下，掩模很容易被污染和刮伤，污染后可在厂内清洗，而掩模刮伤后则直接对产品造成影响，且掩模刮伤造成的产品异常经常是批量性的，良率损失较大。因此，在掩模刮伤后，通常是将损伤的掩模送至专门的掩模制作或修补厂家进行修补，修补周期较长，修补成本也很高。

现在生产中，彩色滤光片的掩模多为铬膜版，其光密度（OD）规格一般要求不小于4，目前的掩模版刮伤后主要有三种修补方法：镭射CVD（化学气相沉积）修补方法、镭射液态合金涂布修补方法、注射印刷修补方法。另外，目前市场上在售或者相关文献提及的修补设备，都是孤立的专门的有修理平台的较大型的设备。例如，现有技术中存在的一种用于修补刮伤掩模的修理设备，该设备采用镭射和光阻注射结合的修理方法，由于该修理设备都是相互孤立的，价格比较昂贵，需要掩模的修理平台，且对于刮伤类的缺陷都使用比较复杂和昂贵的修补材料，成本较高。

发明内容

本发明提供一种可应用于光刻机内部的刮伤掩模修补装置及方法，以克服现有技术中掩模修补周期长、成本高的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种刮伤掩模修补装置，包括：支架装置、缺陷检测装置以及修补模块，其中，支架装置安装在光刻机室内，所述缺陷检测装置和修补模块均安装在所述支架装置上，且所述修补模块包括多个不同尺寸的修补笔芯。

作为优选，所述支架装置包括悬吊杆、掩模支架以及二维移动导杆，所述悬吊杆设置在所述掩模支架的两侧，所述二维移动导杆与所述缺陷检测装置和修补模块相连。

作为优选，所述悬吊杆通过一旋转杆与所述掩模支架相连。

作为优选，所述掩模支架的四周设有多个掩模吸附夹。

作为优选，所述修补模块包括笔芯夹持装置和修补液的存储和抽取装置，其中，所述笔芯夹持装置包括卡盘和可升降杆；所述修补液的存储和抽取装置包括：抽取泵、存储瓶和存储管，所述可升降杆分别与所述二维移动导杆和卡盘接触，所述卡盘上设有与所述不同尺寸笔芯对应的卡槽，所述存储管设置在所述修补笔芯的顶部并与所述存储瓶相连，所述存储瓶与所述抽取泵相连。

作为优选，所述修补笔芯为记号笔芯。

作为优选，采用速干墨水作为修补液。

作为优选，所述存储管为塑料材质。

作为优选，所述存储瓶与所述存储管之间通过导管连通。

作为优选，所述笔芯夹持装置还包括设置在所述修补笔芯上，用于控制所述修补笔芯升降的升降导杆。

作为优选，所述控制模块为PC机。