[发明专利]处理装置和处理状态的确认方法

摘要

本发明提供一种处理装置和处理状态的确认方法。掌握处理装置中的处理的状态，迅速检测处理的异常或将异常防患于未然。在作为MC（401）的下级的控制单元的I/O板（415）上设置最大值寄存器（441）和最小值寄存器（443），从与利用压力计（48A、58A）测量出的缓冲罐（48、58）中的压力相关的压力AI信号中，保存压力变化的最大值和最小值。通过将实际运行时所观测的缓冲罐（48、58）内的压力变化的最大值或最小值与预先测量出的正常运行时的缓冲罐（48、58）内的压力变化的最大值或最小值的数据进行比较，来进行处理的状态的判断。

主权项

一种处理装置，其特征在于，包括：收纳被处理体的处理容器；气体供给通路，其与供给至所述处理容器内的处理气体的种类对应地设置于多个系统；配置于所述多个系统的各个气体供给通路，进行所述气体供给通路的开启和关闭的多个阀门；测量部，其测量所述气体供给通路的处理气体的物理参数；寄存部，其保存由所述测量部测量到的所述物理参数；和控制部，其根据保存于所述寄存部的所述物理参数的信息，判断处理的状态，其中，所述寄存部设置于下级的控制单元，该下级的控制单元以能够与所述控制部进行信号的发送和接收的方式与所述控制部连接并受所述控制部控制，并且对所述控制部与终端器件之间的输入输出信号进行控制。