[发明专利]振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备在审
| 申请号: | 201310027250.X | 申请日: | 2013-01-24 |
| 公开(公告)号: | CN103226016A | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
| 发明(设计)人: | 大泽征司;菊岛正幸;菊池尊行;山口启一;矶野裕一 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | G01C19/5607 | 分类号: | G01C19/5607 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备,防止因振动泄漏现象产生的对驱动振动臂或检测振动臂的振动的影响,提高振动特性。振动片具有:与从振动体(4)延伸的第一梁(61)连接,支撑振动体(4)的第一支撑部(51);设置于第一支撑部(51),沿着与第一梁(61)的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置的检测信号端子(714)及检测接地端子(724),第一梁(61)和第一支撑部(51)在检测信号端子(714)和检测接地端子(724)之间连接,在检测信号端子(714)和检测接地端子(724)之间设有薄部(54a)或贯通部,薄部形成为在第一支撑部的正反方向上的厚度薄,贯通部是在正反方向上贯通去除第一支撑部而形成的。 | ||
| 搜索关键词: | 振动 器件 物理量 检测 装置 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
一种振动片,其特征在于,该振动片具有:振动体;支撑部,其与从所述振动体延伸出的梁连接,支撑所述振动体;以及至少两个固定部,它们设置于所述支撑部,沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置,所述梁与所述支撑部在所述两个固定部之间相连,在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部,所述薄部形成为,该薄部在所述支撑部的正反方向上的厚度比所述支撑部的设置所述固定部的部分薄,所述贯通部是在正反方向上贯通地去除所述支撑部而形成的。
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