[发明专利]振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及振动片、振动器件、物理量检测装置以及使用了它们的电子设备。

背景技术

以往，作为用于检测角速度的振动片，已知有所谓的“WT型”陀螺仪元件（例如参照专利文献1、专利文献2）。

作为一例，对专利文献1的陀螺仪元件进行说明，专利文献1的陀螺仪元件具有：振动体；支撑振动体的第一、第二支撑部；连接振动体和第一支撑部的第一、第二梁；连接振动体和第二支撑部的第三、第四梁。此外，振动体由以下部分构成：基部；从基部起朝向两侧沿着y轴延伸的第一、第二检测振动臂；从基部起朝向两侧沿着x轴延伸的第一、第二连接臂；从第一连接臂的末端部起朝向两侧沿着y轴延伸的第一、第二驱动振动臂；从第二连接臂的末端部起朝向两侧沿着y轴延伸的第三、第四驱动振动臂。

这样的专利文献1的陀螺仪元件经由导电性粘结剂安装在安装基板上。具体地说，设置于第一、第二支撑部的六个连接端子（固定部）与安装基板通过导电性粘结剂接合，由此将陀螺仪元件固定到安装基板上，并且将陀螺仪元件和安装基板电连接。

【专利文献1】日本特开2006-201011号公报

【专利文献2】日本特开2010-256332号公报

在如上所述的陀螺仪元件中，公知会产生所谓的“振动泄漏现象”：各个驱动振动臂或检测振动臂的振动传播到从振动体延伸出的各个梁，进而传播到第一、第二支撑部。当发生该振动泄漏现象时，在将连接端子（固定部）固定到安装基板的情况下，存在如下课题：因振动泄漏现象阻碍了所传播的振动，该振动的阻碍可能也会对驱动振动臂或检测振动臂的振动产生影响。

另外，当振动泄漏现象对驱动振动臂或检测振动臂的振动产生影响时，陀螺仪元件的振动特性的劣化，尤其是温度漂移增大。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可以作为以下方式或应用例来实现。

[应用例1]本应用例的振动片具有：振动体；支撑部，其与从所述振动体延伸出的梁连接，支撑所述振动体；以及至少两个固定部，它们设置于所述支撑部，沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置，在所述两个固定部之间将所述梁和所述支撑部相连，在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部，所述薄部形成为，该薄部在所述支撑部的正反方向上的厚度比所述支撑部的设置所述固定部的部分薄，所述贯通部是在正反方向上贯通地去除所述支撑部而形成的。

根据本应用例所述的振动片，在分离且并列地设置的至少两个固定部之间的支撑部上连接了梁。而且，在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部，所述薄部形成为，该薄部在支撑部的正反方向上的厚度薄，所述贯通部是在正反方向上贯通地去除支撑部而形成的。利用该薄部以及贯通部，使得梁与支撑部相连的部分的刚性减弱，容易发生变形，通过该部分的变形，能够缓解梁所具有的应力。由此，能够缓解从振动体向梁产生的应力，所以能够减少传播到梁的因振动泄漏现象引起的振动传播到固定部。由此，能够提供减轻了振动片的振动特性劣化、尤其减小了温度漂移的振动片。

[应用例2]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述支撑部具有从所述梁分别延伸到所述两个固定部的宽度狭窄部，所述支撑部的所述宽度狭窄部处的宽度比所述支撑部的设置所述固定部的部分的宽度窄。

根据本应用例所述的振动片，设有从梁延伸到两个固定部的宽度狭窄部，利用宽度变窄而容易变形的宽度狭窄部，能够缓解从振动体向梁产生的应力。由此，能够减少传播到梁的因振动泄漏现象引起的振动向两个固定部的传播。

[应用例3]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述薄部或所述贯通部的靠所述振动体侧的端部在所述支撑部的侧面开放。

根据本应用例所述的振动片，利用薄部或贯通部形成的宽度狭窄部与梁相连，因此，能够缓解从振动体向梁产生的应力，能够减少传播到梁的因振动泄漏现象引起的振动向固定部的传播。