[发明专利]振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备

权利要求书

1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有：

振动体；

支撑部，其与从所述振动体延伸出的梁连接，支撑所述振动体；以及

至少两个固定部，它们设置于所述支撑部，沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置，

所述梁与所述支撑部在所述两个固定部之间相连，

在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部，所述薄部形成为，该薄部在所述支撑部的正反方向上的厚度比所述支撑部的设置所述固定部的部分薄，所述贯通部是在正反方向上贯通地去除所述支撑部而形成的。

2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述支撑部具有从所述梁分别延伸到所述两个固定部的宽度狭窄部，所述支撑部的所述宽度狭窄部处的宽度比所述支撑部的设置所述固定部的部分的宽度窄。

3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

所述薄部或所述贯通部的靠所述振动体侧的端部在所述支撑部的侧面开放。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述振动体具有：基部；从基部起朝向两侧沿着第一方向延伸的第一检测振动臂以及第二检测振动臂；从所述基部起朝向两侧沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸的第一连接臂和第二连接臂；从所述第一连接臂起朝向两侧沿着所述第一方向延伸的第一驱动振动臂和第二驱动振动臂；从所述第二连接臂朝向两侧沿着所述第一方向延伸的第三驱动振动臂和第四驱动振动臂，由所述第一检测振动臂以及所述第二检测振动臂构成检测振动系统，由所述第一驱动振动臂、所述第二驱动振动臂、所述第三驱动振动臂以及所述第四驱动振动臂构成驱动振动系统，

所述支撑部具有隔着所述振动体沿着所述第一方向相对配置，并且在所述第二方向上延伸的第一支撑部以及第二支撑部，

所述梁具有：经过所述第一检测振动臂和所述第一驱动振动臂之间，连接所述第一支撑部和所述基部的第一梁；经过所述第一检测振动臂和所述第三驱动振动臂之间，连接所述第一支撑部和所述基部的第二梁；经过所述第二检测振动臂和所述第二驱动振动臂之间，连接所述第二支撑部和所述基部的第三梁；以及经过所述第二检测振动臂和所述第四驱动振动臂之间，连接所述第二支撑部和所述基部的第四梁。

5.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于，

该振动片具有：连接所述第一梁和所述第二梁的第一连接梁、以及连接所述第三梁和所述第四梁的第二连接梁，

利用所述第一连接梁以及所述第二连接梁将所述振动体分别连接到相对配置的所述第一支撑部以及所述第二支撑部。

6.一种振动器件，其特征在于，该振动器件具备：

具有至少两个连接焊盘的基板；以及

权利要求1至5中任意一项中所述的振动片，

通过导电性固定部件将所述连接焊盘和所述固定部接合。

7.根据权利要求6所述的振动器件，其特征在于，

在所述基板的俯视中，所述连接焊盘的轮廓的一部分与设置所述薄部或所述贯通部的区域的一部分重合。

8.一种物理量检测装置，其特征在于，该物理量检测装置具有：

权利要求4或权利要求5所述的振动片；

驱动所述振动片的驱动电路；以及

根据来自所述振动片的检测信号检测预定物理量的检测电路。

9.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1至5中任意一项所述的振动片。