[发明专利]一种测量材料气体渗透率的测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201310026422.1 | 申请日： | 2013-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103115858A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李军建 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08;G01N7/10 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐丰;杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量材料气体渗透率的测量装置和测量方法，包括气体室、气体积累室和高真空室，气体室与气体积累室之间安装有待测材料薄膜或薄片，气体室连接有待测气体源和低真空泵，积累室通过针阀与高真空室连接，高真空室连接有质谱规和超高真空抽气系统。采用本发明的装置及方法可以把渗透通过被测材料的被测气体在气体积累室中积累到比较多的气体量后，再取样出一部分到高真空室进行质谱测量，因而可以提高渗透率测量灵敏度。积累时间越长，测量灵敏度就越高，例如对水蒸气渗透率的测量灵敏度可以达到10-7g/m2day量级的水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 材料 气体 渗透 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种测量材料气体渗透率的测量装置，其特征在于：包括气体室、气体积累室和高真空室，气体室与气体积累室之间安装有待测材料薄膜或薄片，气体室连接有待测气体源和低真空泵，积累室通过针阀与高真空室连接，高真空室连接有质谱规和超高真空抽气系统。
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