[发明专利]一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法

摘要

本发明提供一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法，该设备由嵌入式母板和单片机子板构成，两板之间通过串口进行通信，母版包括核心板和功能板，其中核心板包括存储器，微处理器，功能板包括触摸屏模块，USB设备模块，网络连接模块，SD卡读取存储模块，串口模块，摄像头模块，复位模块，立体声播放模块以及调试模块；子板包括串口模块，步进电机控制模块，电磁阀控制模块和光电开光接收模块。本发明能实现所有光刻操作触摸控制，全程语音提示操作，使得整个光刻过程更加人性化。液晶屏和立体声播放模块的结合可以实现多媒体影音播放功能，可用于产品的推广和操作指南学习。本发明使用高分辨率的摄像头，可以完成曝光过程中的对准和检测。

主权项

一种用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于：该设备由嵌入式母板（15）和单片机子板（16）构成；所述的嵌入式母板（15）包括：触摸屏模块（10），USB设备模块（6），网络连接模块（7），SD卡读取存储模块（9），摄像头模块（8），嵌入式母板复位模块，立体声播放模块（11）以及调试模块（13）；所述的嵌入式母板（15）通过232接口（5）与单片机子板（16）连接；所述的嵌入式母板（15）与单片机子板（16）之间通过串口进行通信；该设备在所述的嵌入式母板（15）上提取出触摸屏上相应的操作，将命令串和数据串通过串口发送给单片机子板（16），由单片机子板（16）完成对步进电机和电磁阀的控制；该设备所述的单片机子板（16）提取出光刻机反馈的信号，将命令串和数据串通过串口发送给嵌入式母板（15），由液晶屏和扬声器将信息传达给操作者；所述的单片机子板（16）包括步进电机控制模块（18），电磁阀控制模块（26），光电开光接收模块（20），单片机复位模块和串口模块（17）。