[发明专利]一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法

权利要求书

1.一种用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于：该设备由嵌入式母板（15）和单片机子板（16）构成；所述的嵌入式母板（15）包括：触摸屏模块（10），USB设备模块（6），网络连接模块（7），SD卡读取存储模块（9），摄像头模块（8），嵌入式母板复位模块，立体声播放模块（11）以及调试模块（13）；所述的嵌入式母板（15）通过232接口（5）与单片机子板（16）连接；所述的嵌入式母板（15）与单片机子板（16）之间通过串口进行通信；该设备在所述的嵌入式母板（15）上提取出触摸屏上相应的操作，将命令串和数据串通过串口发送给单片机子板（16），由单片机子板（16）完成对步进电机和电磁阀的控制；该设备所述的单片机子板（16）提取出光刻机反馈的信号，将命令串和数据串通过串口发送给嵌入式母板（15），由液晶屏和扬声器将信息传达给操作者；所述的单片机子板（16）包括步进电机控制模块（18），电磁阀控制模块（26），光电开光接收模块（20），单片机复位模块和串口模块（17）。

2.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于嵌入式母板（15）包括：

a)采用三星的S3C2440（1）芯片作为微处理器，

b)配置8寸的四线电阻触摸屏；

c)双串口（5），其中一个用于调试，一个用于与单片机通讯；

d)五个USB接口，分别用于调试，音响供电，U盘接插和扩展板卡接口；

e)采用核心板与功能分离分开设计，由排针与排针母座进行连接；

f）采用专业复位芯片MAX811对母板进行复位；

g)使用DM9000A网络芯片和HR911105网络接口实现与因特网的连接；

h)采用拨码开关设置启动模式。

3.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于单片机子板（16）包括：

a)采用AT89C52（19）作为单片机处理器，

b)通过电磁阀控制模块（26）操作电磁阀来实现快门，硅片台，掩膜台的控制；

c)使用3线串口（17）完成与嵌入式母板（15）的通信；

d)使用步进电机模块（18）对步进电机进行操作以实现对位置的精确走位；

e)使用光电开关模块（20）读取光电开关反馈的信号以确定精密工件台的具体位置。

4.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于操作系统为WinCE5.0。

5.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于，该设备还包括用户界面，该用户界面包括：

a)用来控制整个系统工作的按钮（24），实现上升，复位，微调，曝光的功能；

b)用来显示相应图标的信息反馈框（21）；

c)用来输入曝光时间的数字按钮（25），以及更改数字的后退和清空按钮；

d)曝光时间显示框（22），以及用于锁定或解锁时间输入值的按钮和定时曝光的按钮；

e)步数查询按钮和显示框（23）。

6.根据权利要求1至5任一项所述用于光刻机的嵌入式控制设备的控制方法，其特征在于，该方法包括：

步骤a)、拥有识别按钮信息和通过串口发送命令信息的步骤；

步骤b)、每个操作步骤点击后都有相应的图像和图标表示该控制命令已经触发；

步骤c)、在每个步骤完成后，都有形象的图标提示用户下一步的动作；

步骤d)、在得到反馈信息后，都有形象的图标显示光刻机现状正在执行的任务；

步骤e)、在接收到每个步骤完成后或得到反馈信息后，都有相应的语音提示步骤，用于指导用户的操作；

步骤f)、具有自己自带的曝光时间输入步骤，该步骤可以实现艺术字输入；

步骤g)、具有微调步数查询步骤，并会在工件台到达极限时提示用户；

步骤h)、将摄像头拍摄到的画面实时地显示在摄像头显示区（21），使用户可以方便地完成对准和检测。