[发明专利]一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法

说明书

技术领域

本发明是涉及接近接触式光刻系统中的控制装置，特别是涉及一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法。

背景技术

（1）传统光刻机的控制系统是基于机械式控制面板的，整个操作几乎没有人机互动，没有形象具体的提示；由于机械按钮易老化，长期使用会导致负触发。初次使用的户都需要阅读冗长的说明书，得不到形象直观的指导；当软件出错或者用户遇到使用困难时，开发人员往往需要前往使用地进行调试和指导；而且在很大程度上限制了摄像头的使用；

（2）使用PC机对光刻机进行控制，用户只能使用鼠标和键盘来进行控制，无法使用更加方便有效的方法来进行操作；对于普通的光刻机，PC机的功能往往得不到最充分的使用，从而造成资源的极大浪费；而且作为PC机而言，相比嵌入式设备，其价格要高出许多；PC机功耗大，在实际的使用过程中需要风扇降温，引入了振动的问题；加上PC机体积较大，大量占用了有限的空间资源。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种基于嵌入式设备的控制装置。通过软硬件的协调合作，实现了良好的人机互动界面，远程开发和指导，人性化操作。这种设备稳定性好，体积小巧，功耗低，可扩展性强，而且开发成本低廉，运行速度快，具有很强的实时性，使用起来更加人性化和方便。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案如下：一种用于光刻机的嵌入式控制设备，该设备由嵌入式母板和单片机子板构成；所述的嵌入式母板包括：触摸屏模块，USB设备模块，网络连接模块，SD卡读取存储模块，摄像头模块，嵌入式母板复位模块，立体声播放模块以及调试模块；所述的嵌入式母板通过232接口与单片机子板连接；所述的嵌入式母板与单片机子板之间通过串口进行通信；该设备在所述的嵌入式母板上提取出触摸屏上相应的操作，将命令串和数据串通过串口发送给单片机子板，由单片机子板完成对步进电机和电磁阀的控制；该设备所述的单片机子板提取出光刻机反馈的信号，将命令串和数据串通过串口发送给嵌入式母板，由液晶屏和扬声器将信息传达给操作者；所述的单片机子板包括步进电机控制模块，电磁阀控制模块，光电开光接收模块，单片机复位模块和串口模块。

其中，嵌入式母板包括：

a)采用三星的S3C2440芯片作为微处理器，

b)配置8寸的四线电阻触摸屏；

c)双串口，其中一个用于调试，一个用于与单片机通讯；

d)五个USB接口，分别用于调试，音响供电，U盘接插和扩展板卡接口；

e)采用核心板与功能分离分开设计，由排针与排针母座进行连接；

f）采用专业复位芯片MAX811对母板进行复位；

g)使用DM9000A网络芯片和HR911105网络接口实现与因特网的连接；

h)采用拨码开关设置启动模式。

其中，单片机子板包括：

a)采用AT89C52作为单片机处理器，

b)通过电磁阀控制模块操作电磁阀来实现快门，硅片台，掩膜台的控制；

c)使用3线串口完成与嵌入式母板的通信；

d)使用步进电机模块对步进电机进行操作以实现对位置的精确走位；

e)使用光电开关模块读取光电开关反馈的信号以确定精密工件台的具体位置。

其中，操作系统为WinCE5.0。

其中，该设备还包括用户界面，该用户界面包括：

a)用来控制整个系统工作的按钮（24），实现上升，复位，微调，曝光的功能；

b)用来显示相应图标的信息反馈框（21）；

c)用来输入曝光时间的数字按钮（25），以及更改数字的后退和清空按钮；

d)曝光时间显示框（22），以及用于锁定或解锁时间输入值的按钮和定时曝光的按钮；

e)步数查询按钮和显示框（23）。

另外，本发明还提供一种用于光刻机的嵌入式控制设备的控制方法，该方法包括：

步骤a)、拥有识别按钮信息和通过串口发送命令信息的步骤；

步骤b)、每个操作步骤点击后都有相应的图像和图标表示该控制命令已经触发；

步骤c)、在每个步骤完成后，都有形象的图标提示用户下一步的动作；

步骤d)、在得到反馈信息后，都有形象的图标显示光刻机现状正在执行的任务；

步骤e)、在接收到每个步骤完成后或得到反馈信息后，都有相应的语音提示步骤，用于指导用户的操作；

步骤f)、具有自己自带的曝光时间输入步骤，该步骤可以实现艺术字输入；