[发明专利]磷扩散炉炉管炉帽无效
| 申请号： | 201310018277.2 | 申请日： | 2013-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103103614A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈功 | 申请（专利权）人： | 陈功 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L21/223 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 313100 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磷扩散炉炉管炉帽，包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体，所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴，所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环，所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间。所述帽体底部外壁焊接有一石英把手。本发明的炉帽套接在炉管开口上，炉帽采用石英材质，热稳定性高，石英炉帽底部侧面的开口延嘴正对抽风管进风口用于释放磷扩散炉的炉管排出的三氯氧磷气体，帽体底部内壁焊接有一石英卡环，卡环距底部刚好留有开口延嘴的宽度，炉管口部顶接在卡环上不至于堵住开口延嘴，在炉帽底部焊接石英的把手方便了操作。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 炉管 | ||
【主权项】：
磷扩散炉炉管炉帽，包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体，其特征在于：所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴，所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环，所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间。
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