[发明专利]磷扩散炉炉管炉帽无效
| 申请号： | 201310018277.2 | 申请日： | 2013-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103103614A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈功 | 申请（专利权）人： | 陈功 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L21/223 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 313100 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 炉管 | ||
【权利要求书】：
1.磷扩散炉炉管炉帽，包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体，其特征在于：所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴，所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环，所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间。
2.根据权利要求1所述的磷扩散炉炉管炉帽，其特征在于：所述帽体底部外壁焊接有一石英把手。
3.根据权利要求2所述的磷扩散炉炉管炉帽，其特征在于：所述开口延嘴长度控制在3-5cm，开口延嘴内径控制在0.5-1cm。
4.根据权利要求3所述的磷扩散炉炉管炉帽，其特征在于：所述卡环厚度等于帽体底部壁厚。
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