[发明专利]基于导电密封件的压力传感器无效
申请号: | 201310015019.9 | 申请日: | 2013-01-16 |
公开(公告)号: | CN103091029A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 陈君杰 | 申请(专利权)人: | 无锡永阳电子科技有限公司 |
主分类号: | G01L9/06 | 分类号: | G01L9/06 |
代理公司: | 无锡大扬专利事务所(普通合伙) 32248 | 代理人: | 郭丰海 |
地址: | 214012 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种压力传感器,具体为基于导电密封件的压力传感器,包括芯片和外壳,所述的芯片上有芯片焊盘,芯片焊盘连接在导电胶条上,所述的导电胶条与引线框架连接,所述的芯片、导电胶条安装在外壳内。本发明提供的基于导电密封件的压力传感器,扩展了测试介质兼容性,使其能够广泛应用于液体介质压力测试。 | ||
搜索关键词: | 基于 导电 密封件 压力传感器 | ||
【主权项】:
基于导电密封件的压力传感器,包括芯片和外壳,芯片与外壳之外的引线框架连接,其特征在于:所述的芯片包括上层的基板和下层的硅片,所述的基板中间有介质通孔,硅片与基板的接触面有应变型腔,介质通孔与应变型腔连通,应变型腔底部为硅片的压力变形区,硅片的下表面在压力变形区内有电路,电路与引线框架连接;所述的外壳包括上壳和下壳,上壳有上介质通道与介质通孔连通,下壳有下介质通道与压力变形区连接。
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