[发明专利]冷却剂再生方法以及冷却剂再生装置有效
| 申请号： | 201280077378.0 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN104812532A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 井上一真;延藤芳树;荻田大;西田高治;玉井雅之 | 申请（专利权）人： | 株式会社可乐丽 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B27/06;B24B55/02;B28D5/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;李婷 |
| 地址： | 日本冈山县*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷却剂再生方法，其特征在于，能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用，以使所述冷却剂以层流状态在中空状的1个或多个中空纤维膜的各中空部内流动的方式，从各中空纤维膜的一端向中空部内分别供给所述冷却剂，中空纤维膜的孔径为0.05μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却剂 再生 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种冷却剂再生方法，其特征在于，能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用，所述冷却剂再生方法包括：过滤工序，以使所述冷却剂以层流状态在中空状的1个或多个中空纤维膜的各中空部内流动的方式，向所述各中空部内分别供给所述冷却剂，其中，所述中空纤维膜的膜的孔径为0.05μm以下。
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