[发明专利]冷却剂再生方法以及冷却剂再生装置

权利要求书

1.一种冷却剂再生方法，其特征在于，能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用，所述冷却剂再生方法包括：

过滤工序，以使所述冷却剂以层流状态在中空状的1个或多个中空纤维膜的各中空部内流动的方式，向所述各中空部内分别供给所述冷却剂，其中，

所述中空纤维膜的膜的孔径为0.05μm以下。

2.根据权利要求1所述的冷却剂再生方法，其特征在于：

在所述各中空部内流动的冷却剂的雷诺数为10～2000。

3.根据权利要求1或2所述的冷却剂再生方法，其特征在于：

向所述中空部内供给的冷却剂的混入物的浓度为10重量％以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的冷却剂再生方法，其特征在于：

所述中空纤维膜为有机中空纤维膜。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的冷却剂再生方法，其特征在于还包括：

返送工序，将在所述过滤工序通过各中空纤维膜的中空部而被浓缩的所述冷却剂返送至储存有在切断所述晶锭时所使用的冷却剂的处理槽，其中，

在所述过滤工序，储存在所述处理槽的冷却剂被供给至所述各中空纤维膜的中空部内。

6.根据权利要求5所述的冷却剂再生方法，其特征在于还包括：

离心分离工序，对储存在所述处理槽的所述冷却剂进行离心分离，并将离心分离后的冷却剂返送至所述处理槽，其中，

所述过滤工序以及所述返送工序与所述离心分离工序同时进行。

7.一种冷却剂再生装置，其特征在于，能够使在用线锯切断晶锭时所使用的冷却剂再利用，所述冷却剂再生装置包括：

中空状的1个或多个中空纤维膜；以及

供给部，将所述冷却剂供给至各中空纤维膜的中空部内，其中，

所述中空纤维膜的膜的孔径为0.05μm以下，

所述供给部以使所述冷却剂以层流状态在所述各中空部内流动的方式供给所述冷却剂。

8.根据权利要求7所述的冷却剂再生装置，其特征在于还包括：

处理槽，储存有在切断所述晶锭时所使用的冷却剂；

返送部，将通过所述各中空纤维膜的中空部而被浓缩的所述冷却剂返送至所述处理槽；以及

离心分离装置，对所述处理槽内的冷却剂进行离心分离，并将离心分离后的冷却剂返送至所述处理槽，其中，

所述供给部将储存在所述处理槽的冷却剂供给至所述各中空纤维膜的中空部内。