[发明专利]能够形成图案的沉积装置有效
| 申请号： | 201280071246.7 | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104220633A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 金泰焕;柳云善;南宫晟泰 | 申请（专利权）人： | SNU精度株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，本发明的能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 形成 图案 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。
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